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立式結構往復真空泵組具有以下幾個特點: 氣缸豎直布置,結構緊湊、占地面積小,尤其是改善了臥式泵因活塞自重下垂摩擦不均勻的缺點。設計了自潤滑性能好的聚四氟乙烯活塞環和填料密封環, 使運動部件磨損減小,并適用于少油潤滑或無油潤滑。它設計為雙作用氣缸,既可單級抽氣(抽氣速率大),亦可雙級抽氣(真空度高),以滿足不同客戶的需要。往復式真空泵目前大多采用環狀閥, 由于真空泵的吸、排氣壓力都不大, 尤其是吸入氣體絕對壓力很小, 氣閥的壓力降是影響極限真空度和功率消耗的一個重要原因。尤其是吸氣閥的阻力, 對于提高真空度和降低功率消耗具有重要意義。往復真空泵與往復壓縮機兩者結構最根本的不同是往復真空泵為提高真空度, 氣缸中采用了平衡通道。近年來, 國內外在改進往復式真空泵的總體結構、降低功耗、提高真空度和運行可靠性等方面做了不少工作。改進平衡氣道顯得十分重要。立式往復真空泵具有結構緊湊、減小運動零部件磨損的優點。采用氣閥軸向布置, 改善氣缸的冷卻,減小了壓縮功。合理設計平衡通道和減小余隙容積是提高往復式真空泵真空度的有效措施; 減小氣閥的阻力損失對提高真空度和降低功率消耗十分重要; 強化有磨損部件處的潤滑, 并采用自潤滑性能好的材料以減少摩擦損失, 對延長零件壽命和減少功耗都是有利的。